通常所说的高纯水,其定义不是很明确的,但一般都是指电阻率在10兆欧以上,即电解质浓度在0.01-0.02ppm以下的纯水。同时,还要考虑到水中含有的微粒、微生物、有机物、溶解 气体等等。另外,高纯水不仅仅应用于电子工业,还广泛应用于制药工业、化学试剂工业,以及火力、原子能发电站的锅炉水处理等方面。 当然,在这些领域中应用高纯水,在水质要求上是有一些不同的。例如在制药工业以及在火力发电站的某些应用中,对水中溶解氧的含量要求就很严格。所以所谓的高纯水,就是按照各自的目的和用途的不同,对某些特定的不纯物进行高度提纯的纯水。其中,电子工业对高纯水水质的要求是最严格的。所以,在实际应用中,纯水设备产水或者超纯水设备产水又称为电子级超纯水或18兆欧超纯水。 目前国家颁布的《电子级水国家标准》低于水质的要求仍然是考虑电导率(电阻率)、微粒、微生物、有机物等几个方面。另外,有些情况下对水中溶解的氧等气体也有一定的要求。
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