电子半导体行业超纯水处理设备工艺介绍

电子半导体行业超纯水处理设备工艺流程:

根据电子光半导体行业，纯水处理公司技术人员选用以下工艺，采用两级反渗透+EDI装置+核能抛光混合床作为系统的主要脱盐设备。该系统运行成本低，易于实现自动化，具有良好的经济效益。该工艺具有先进、成熟、出水水质稳定、系统运行稳定、反渗透+EDI脱盐装置等特点

超过原水箱原水泵,自动过滤介质全自动活性炭过滤器,还原剂加药系统自动软化过滤器,过滤器- >安全级别的高压泵-一级反渗透系统级别的反渗透水箱PH值调整装置,二级高压泵、二级反渗透系统二级反渗透纯水,EDI增压泵紫外线消毒器,脱气膜精密过滤器,EDI装置以EDI纯水、纯水泵-抛光混合床- 0.22 u膜过滤器- >水生产线

电子半导体行业超纯水制造设备工艺介绍

1)预处理:主要去除水中的有机物、悬浮物、胶体、硬度和余氯，确保RO正常工作。该处理工艺采用多媒体过滤、活性炭吸附、树脂交换钙镁离子及相关试剂，以减少反渗透过程中产生的结垢、藻类生长、微生物污染和氧化剂

预处理系统包括:原水箱、原水泵、加药系统、多媒体过滤器、活性炭过滤器、软化剂、安全过滤器。

反渗透装置:反渗透装置是项目的预脱盐心脏部分。反渗透处理后的水可以去除大部分无机盐和微生物。设计是否合理直接关系到项目的投资成本、整个系统运行的经济效益、使用寿命以及运行的可靠性和简洁性。反渗透膜采用先进的低压复合膜，单次脱盐率为99.8%。当系统设计温度为20℃时，考虑到原水水质的变化以及膜的使用寿命等因素，系统采用8英寸复合RO膜，安装在不锈钢压力容器内。回收率:50% ~ 75%，脱盐率:98%。反渗透系统的回收率在50% ~ 75%以上，脱盐率不低于98%。在本项目中，考虑到节能、运行压力、膜过滤、膜脱盐率、水盐度等因素，我们推荐海登、陶氏、东丽、GE、汇通等品牌的反渗透膜。

EDI装置:EDI电脱盐系统是结合电渗析和离子交换的优点，克服两者缺点的一项新技术。EDI超纯水处理工艺运行稳定，有效延长了EDI的使用寿命，降低了用户的运营成本。它的工作原理是三个过程。首先，在直流电场的作用下，水中电解质在离子交换膜上有选择性迁移。其次，利用阴离子交换树脂在水中交换电解质，形成“离子通道”。再次，利用离子交换树脂界面水的极化作用产生的H+和OH-进行电化学再生。

抛光搅拌床:抛光搅拌床又称一次性搅拌床，一般用于高纯水生产工艺的末端，用于进一步改善水质。抛光是将混合在一起的抛光树脂在床上不能再生和再利用，所谓抛光就是对树脂进行表面处理。