根据超纯水设备的结构保证气压平衡
一般超纯水设备配置的水箱是平底水箱，用户在维护的时候，如果没有将箱底的水排干，这些排不干净的水就会成为细菌生长的场所。业内推荐使用锥形水箱，这样可以在维护的过程中将水排干。
根据超纯水设备的结构，设备的储水箱一般会设计一个排气口来保证气压平衡，这时候通过排气口让外界空气进入的同时，也会带入细菌、颗粒污等，造成储存在水箱中的超纯水发生污染。业内建议，可以给通气口配置过滤器，防止污染物吸入。
超纯水设备中有细菌滋生、活性炭实效、材质不合格。引起细菌滋生主要是购买设备之后长期使用，不注意进行消毒杀菌清洗，或者长久放置未使用，使得设备中的细菌大量繁殖。该种情况下，水自然会产生异味。尤其是在夏季，因为夏季是一个细菌繁殖的高峰季节，温度高，细菌繁殖的越快。
导致超纯水设备运行出现紊乱的原因有很多，比如自来水水质、预处理部件使用寿命、进水压、超纯水系统的维护等。就自来水水质而言，自来水水质中杂质含量高时会导致预处理部件使用寿命速断和处理后水质不达标，甚至会堵塞管道，导致需要更高的进水压才能工作，一般要求自来水中固体溶解吴含量(TDS)小于200mg/L。
超纯水设备在使用一段时间后会出现出水率低的问题。一般情况下，设备出现出水率低压力高的现象主要是因为仪器仪表读数误差、温度、进水电导、掺水侧压力、压差、膜元件通量衰减、膜元件污染、保养不及时等原因导致。
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