高纯水是化学纯度极高的水，其中的杂质的含量小于0.1mg/L，一般在电子、医药、航天或其他特殊行业工艺生产中，为了达到产品所需工艺用水，一般需要电导率0.055μS/cm（电阻率18.2 MΩ•cm）的理论纯水，统称为高纯水或超纯水将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。高纯水的含盐量在0. 3mg/L以下，电导率小于0. 2μs/cm。工业用高纯水设备是指工业用高纯水将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的设备。电阻率大于10～18.3MΩ*cm极限值。超纯水，是一般纯水设备很难达到的程度，通常采用工业用高纯水设备通过预处理、反渗透技术、高纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换（抛光）、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm。
电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种：
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→软水器-精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点
3、采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→软水器-精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→抛光混床-紫外线杀菌器-终端精密过滤器→用水点。
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