Thiết bị bán dẫn, bao gồm thiết bị làm sạch, thiết bị xử lý khắc, quy trình làm sạch trong sản xuất silicon bán dẫn, v.v. IC là một trong những thiết bị điện tử lớn nhất và phức tạp nhất trên thế giới hiện nay và IC đã trở thành một thiết bị điện tử quan trọng. Hiện nay, quy trình sản xuất mạch tích hợp chủ đạo trên thế giới là mở rộng, chế tạo chip, đóng gói và kiểm tra. Trong số đó, sản xuất chip silicon sử dụng công nghệ mở rộng, sản xuất chip là một trong những liên kết quan trọng nhất trong sản xuất chip. Và việc làm sạch và khắc tấm silicon bằng nước siêu tinh khiết là một trong những phương pháp để làm cho bề mặt của tấm silicon đạt đến mức sạch sẽ, hiện tại không có thiết bị trưởng thành nào có thể được sử dụng cho công việc này.

I. Quá trình chuẩn bị nước siêu tinh khiết

Quá trình chuẩn bị nước siêu tinh khiết, chủ yếu đề cập đến việc xử lý trước nước thô bằng thiết bị thẩm thấu ngược (RO), loại bỏ các tạp chất như chất lơ lửng, keo và các tạp chất khác trong nước; Tái sử dụng nhựa trao đổi cation để loại bỏ các chất hữu cơ, vi khuẩn và các chất độc hại khác trong nước; Cuối cùng, thông qua nhà máy chưng cất áp suất cao, xử lý tinh khiết hơn nữa với nước tinh khiết để nước thô đạt tiêu chuẩn nước siêu tinh khiết. Trong quá trình này, cần lưu ý một số điểm sau:

1, Đối với các chất hữu cơ, vi khuẩn trong nước thô không cần xử lý tinh khiết hơn nữa, nhựa trao đổi ion có thể được sử dụng để loại bỏ các chất này; Đối với các hệ thống đòi hỏi nước tinh khiết cao như: quá trình sản xuất chất bán dẫn được sử dụng để làm sạch thiết bị quá trình cần nước tinh khiết cao;

3. Khi lựa chọn thành phần màng thẩm thấu ngược nên cố gắng tránh sử dụng thiết bị có thông lượng màng thấp hoặc tỷ lệ giữ lại cao, để đảm bảo sử dụng bình thường không gây ra hệ thống thẩm thấu ngược do thông lượng màng siêu lọc thấp.

II. Thành phần thiết bị và chỉ số kỹ thuật:

Với quá trình xử lý màng RO, thiết bị RO bao gồm ba phần: hồ bơi màng, bể nước tinh khiết, bể điều khiển. Nguyên tắc hoạt động của thiết bị RO là: thêm một lượng chất trộn nhất định vào máy lọc nước tinh khiết, loại bỏ các tạp chất trong nước và chất keo bằng cách kết tủa trộn; Sau đó lại trải qua một loạt quá trình công nghệ để đạt được yêu cầu sản xuất nước siêu tinh khiết. Bể chứa nước tinh khiết được sử dụng để lưu trữ nước siêu tinh khiết, nước tinh khiết, dung dịch hữu cơ và các tạp chất khác, hộp điều khiển là một hệ thống giám sát hoạt động của toàn bộ hệ thống, khi thiết bị RO hoạt động bình thường, sản xuất nước được kết nối trực tiếp với nước tinh khiết và dung dịch hữu cơ thông qua hộp điều khiển.

III. Thông số kỹ thuật chính:

1. Chất lượng nước thô: tiêu chuẩn nước tinh khiết;

2, chi phí vận hành: không bao gồm độ dẫn, chi phí vận hành thấp;

3, Thông lượng nước tinh khiết: khoảng 10L/h.

Giới thiệu thực tế ứng dụng điển hình:

Thiết bị nước siêu tinh khiết có thể được sử dụng trong quá trình sản xuất nước siêu tinh khiết trong ngành công nghiệp bán dẫn, chủ yếu bao gồm làm sạch màng trao đổi ion, lọc thẩm thấu ngược và làm sạch hóa chất tiếp theo. Quá trình này có thể được sử dụng để làm sạch và khắc tấm silicon trong sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn và có thể làm giảm hơn nữa các tạp chất silicon và cải thiện tính chất điện. Trong các ứng dụng thực tế, hệ thống nước tinh khiết cao và hệ thống làm sạch hóa chất thường được kết hợp hữu cơ, sử dụng công nghệ tách màng nhiều lớp để giám sát, quản lý và kiểm soát chất lượng nước sản xuất, để sản xuất nước đạt yêu cầu quy định. Sử dụng thiết bị nước siêu tinh khiết cho dây chuyền sản xuất chip bán dẫn để sản xuất màng hoạt động, làm cho chất lượng nước sản xuất của nó có thể đạt được siêu tinh khiết theo quy định của nhà nước (siêu tinh khiết 5-10 lần) và độ tinh khiết cao (chứa tạp chất 0,003 mg/L, có thể đảm bảo rằng các tạp chất, quy mô và các tác động khác của quá trình sản xuất mạch tích hợp là tối thiểu). Hệ thống này có thể đảm bảo tính ổn định và khả năng kiểm soát của sản lượng nước, là giải pháp lý tưởng cho các doanh nghiệp sản xuất nước siêu tinh khiết có độ tinh khiết cao.

专业水处理的疑难问题，产品选型问题，可以单击下面的微信二维码电话联系贺工在线指导，长按微信二维码可自动识别添加贺工微信沟通解决您的疑难问题